微波等离子体化学气相沉积炉

2021-08-20 17:30:07 322

产品摘要

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产品应用：该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等性能，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。

产品特点：

1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子环境更均匀。

2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。

技术参数：

型号/model	WBMW-DLZ3
可加热材料	非易燃易爆的任何材料
微波频率	2.45GHZ±50MHz
加热方式	纯微波加热
大功率/KW	3 (功率可调)
高工作温度/℃	1200
长期工作温度/℃	≤199
温度测试元件	微波场传感器
控温精度/℃	±2
石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm	φ102/φ92x990
真空系统配置（可选）	简单机械泵抽真空和不锈钢法兰； 10-1Pa真空用高品质机械泵及真空计； 10-2Pa真空用高品质机械泵、扩散泵及真空计； 10-3Pa真空用高品质机械泵、分子泵及真空计；
升温速率(标配)	50℃/min 可分段加热 300℃/min
外型尺寸(长x宽x高)/mm	990´750´1830
微波泄漏量/ mW/㎝	≤0.4
提供相关配件	高温手套×1、中文说明书×1
保质期	整机保修1年